复合型便携式真空计校准装置
2023-12-20T03:12:33+00:00
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2013年7月5日 研制的便携式真空计校准装置集成了静态比对法、静态膨胀法和动态流量法三种校准方法，仅用两台满量程为133Pa和133×10 5 Pa的CDG作为参考标准，实现 校准方法 校准以待校准的真空计和按照 iso/ts 3567 标准的标准真空计的测量值的比较为基础。待校准的真空计和已被校准的标准真空计被连接在一个标准化的真空室上（按照 iso/ts 真空计校准真空计校准系统 普发真空 Pfeiffer Vacuum两个传感器组合测量，只需一个壳体、一个接口和一个显示屏。复合真空计还可在更大的真空范围内提供更好的压力监测。常见的复合真空计有皮拉尼/冷阴极真空计 请参阅间接压 真空计、真空传感器和复合式真空计的定义 LeyboldBusch 普旭 VACTEST 提供三个产品系列，确保满足多种真空系统或工艺的精准度、测量范围和功能需求。 凭借诸多先进技术可实现从 1600 至 510 10 mbar 的广泛测量范围，并以高精度覆盖几乎所有真空度。 传感器均 Busch 普旭 VACTEST 真空计 Busch 中国这可通过复合型THERMOVAC 产品解决：TTR 101 系列将皮拉尼传感器与微型电容压力计相结合，使用微型电容压力计测量粗真空范围。这款复合真空计的压力测量范围为 1500 THERMOVAC 皮拉尼 皮拉尼和压电复合传感器 Leybold
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2013年7月5日 便携式真空计校准装置 主要由校准室、抽气系统、进气系统三部分组成，整体尺寸为450mm×400mm×750mm，总重量小于40kg，装置的外形如图1所示。 便携式真空计校准装置的原理结构如图2所示，RP 安捷伦多种主动式真空计和皮拉尼真空计以及控制器（处理多达 12 通道）、真空规管，可在大气压到 UHV/XHV 范围内进行精确、可靠的真空控制和测量。皮拉尼真空计真空规管 安捷伦 Agilent所有品牌的真空计均由位于科隆的 Leybold 莱宝秉承公正的原则进行校准，然后会签发 DKD 校准证书并随附与校准有关的所有特性数据。 德联邦物理技术研究所的标准件被称为 国 如何校准真空计 Leybold2020年4月30日 日前，514所真空事业部成功研制出新一代自动化便携式真空校准装置，并在航空航天科研生产中得到实际应用和验证，是真空计量检测设备的又一产品化和国产化。514所真空计量检测设备产品化研究成果丰硕真空设备